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詳細(xì)摘要： 無塵潔凈氮?dú)夤襁m合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度...